社會智能化帶動MEMS傳感器技術轉型

　　中國物聯網研究發展中心副主任陳大鵬介紹，MEMS技術是物聯網產業鏈中不可或缺的一環，但由于傳感器行業技術門檻較高，從事傳感器研發的創新公司盡管擁有部分核心技術，但規模小，沒有生產能力，再加上國內缺乏開放、專業的生產平臺，大部分傳感器產品處于原型研制、試制或小批量生產階段，在與國外公司的競爭中處于劣勢。

　　目前MEMS市場的主導產品為壓力傳感器、加速度計、微陀螺儀、墨水噴咀和硬盤驅動頭等。大多數工業觀察家預測，未來5年MEMS器件的銷售額將呈迅速增長之勢，年平均增加率約為18%，因此對機械電子工程、精密機械及儀器、半導體物理等學科的發展提供了極好的機遇和嚴峻的挑戰。

　　MEMS傳感器技術隨著信息技術發展要求變得更加嚴格，全球的MEMS傳感器市場隨著平板電腦以及手機的強勁增長變得緩慢下來。受全球經濟疲軟影響，全球MEMS傳感器市場增長速度放緩，預計未來幾年將保持年均8%的復合增長率;主要增長動力來自于消費電子領域特別是手機領域，汽車電子領域增幅有所放緩;未來幾年平板電腦和智能手機領域的MEMS傳感器應用仍將保持強勁增長，但產品零售價有逐步下降趨勢。

　　隨著我國汽車電子、新型數字消費電子和醫療電子等產業的快速發展，國內市場對傳感器的需求呈現出快速增長的態勢。據中國電子信息產業發展研究院預測，未來五年國內傳感器市場年復合增長率將超30%。汽車、物流、礦業探勘、煤礦安監、安防、RFID標簽卡領域的傳感器市場增長較快。總體來看，中國傳感器市場前景廣闊。

　　在此背景下，以MEMS為代表的智能傳感器技術得到了快速的發展。與傳統的傳感器技術相比，MEMS體積小、重量輕、成本低、能耗低、可靠性高、易于批量生產、智能化高。現在正處于高速發展期MEMS技術在未來的發展主要表現在以下幾個方面：

　　第一，微型化的同時降低功耗。將會出現微米甚至納米級別的微型器件，同時降低功耗;第二，微型化的同時提高精度，將MEMS加速度計做到石英加速度計的噪聲特性，保證MEMS陀螺儀小體積的同時獲得光纖陀螺儀的零偏穩定性，且可提供遠優于光纖陀螺儀的抗沖擊特性;第三，集成化及智能化趨勢，即MEMS與IC的集成制造技術及多參量MEMS傳感器的集成制造技術得到發展，以及在集成化基礎上使得信號檢測具有一定的自動化。這些趨勢要求半導體廠商提供更高精度、穩定性更好、更智能的高集成度MEMS傳感器模塊。

　　在平板電腦以及智能手機市場的帶動下，市場份額不斷上升，當然這些傳感技術的消費不少來源全球以及我國市場的調整。在我國受全球經濟疲軟以及國家謹慎的宏觀政策影響，2011年我國MEMS傳感器市場增速出現放緩的跡象，但仍明顯高于全球增速，我國MEMS傳感器市場如今增速放緩，發展態勢良好。這些穩定的發展得力于MEMS傳感器在消費產品中的滲透率得到了進一步提高。

　　雖然我國有穩定扎實的傳感器市場，但作為傳感器企業更多的應該認清楚MEMS傳感器技術的發展方向。首先傳感器的技術是需要向高精度發展，類似如何去對傳感器檢測的精確制導，再者我們的傳感器是要向高可靠性、寬溫度范圍，以及微型化發展，各種便攜設備上應用的傳感器更多就該去考慮這幾個方面。最后我們的傳感器技術還是向微功耗及無源化，向網絡化發展，與無線技術結合，向智能化數字化發展，與CPU等結合，科技發展的一個方向也是取決這些方面，能源的控制以及智能化的結合都是MEMS傳感器技術的必要。

　　有關機構預測，在未來6年，MEMS都將保持兩位數的穩定增長：營收的復合年增長率約為20%，出貨量的復合年增長率約為13%，到2017年全球MEMS市場規模可達210億美元。