MOCVD自主生產推動LED產業快速發展

　　12月12日，我國首臺具有世界先進水平的大型國產MOCVD設備在上海張江高新區核心園發運。有關專家表示，這不僅標志著我國在實現大型MOCVD設備國產化戰略目標的征途上邁開了具有里程碑意義的一步，而且充分體現了中國有能力在高端裝備領域實現跨越式發展。

　　據介紹，MOCVD是在氣相外延生長基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。作為LED芯片生產過程中最為關鍵的設備，MOCVD的核心技術長期被歐美企業壟斷，嚴重制約了我國LED產業的健康發展。隨著半導體照明逐漸成為LED產業發展的主要推動力，現有被壟斷的設備已不能滿足LED大規模生產和產業高速發展的需要。

　　今年1月18日，中晟光電設備(上海)有限公司成功實現了擁有自主創新知識產權的大型國產MOCVD設備下線，并用10個月時間對工藝和設備進一步改進優化;在此基礎上，又完成了4家客戶的多次實地考察，操作設備和驗證各項工藝。客戶對中晟MOVCD的評價是：具有目前世界上最高的系統產能、最低的外延生產成本、良好的波長均勻性以及大規模外延生產所需的各項關鍵性能。