MEMS將迎來第三次發展浪潮

　　MEMS制造廠與CMOS制造廠的工藝革新。

　　Yolo給出了MEMS的新興和衰落圖(圖7)，以及2009-2015年間新興百萬美元價值MEMS預測(圖9)。

　　成功的必備條件

　　新興MEMS的特點是，達到成熟的速度較以往更快(表1)。

　　Bosch Sensortec公司介紹了MEMS的成功經驗。CEO Frank Melzer說，今天要保持增長需要供應商具有多種不同的技巧。由于競爭激烈，因此這越來越成為一種最高效技術和相關服務上的競爭。提供某種也許能夠滿足應用需要的產品顯然是無法保證獲得商業成功的。今天重要的是要有一整套的產品和相關的軟件支持，使客戶能夠選擇其特定需求的最佳解決方案。對有效的系統集成而言，投資組合之內產品的兼容性及實現結果的可轉移性至關重要。如果產品批量大，且客戶產品平臺的生產提升快，則諸如可靠但靈活的供應能力及完美的產品質量等因素將成為客戶獲得經濟成功的一項非常重要的因素。這說明，MEMS供應商中成功的公式中包含著多個要素，其中最重要的要素是基于技術卓越、對應用的深度理解及完美的產品質量之類的傳統技巧，以及通常有效的“貼近并理解客戶”的理念。

　　同時，材料、工具平臺等企業也需要配合形成一條完整的產業鏈。據美國應用材料公司200mm產品與改進部Jack Blaha介紹，該公司在MEMS新材料、制造方面不斷探索，包括鋁材料，制造的pvd和cmp制程。

　　MEMS融合了機械、微電子、化學等方面的技術，因此人才稀缺，為了解決MEMS設計問題，Coventor公司銷售和市場副總裁Eric Eisenhut介紹說，該公司提供從MEMS IP、驗證、工具庫到MEMS平臺的多種服務。

　　參考文獻：

　　[1] 2010全球電子峰會:MEMS is Hot(上)[C].(2010-4-27). http://v.eepw.com.cn/video/play/id/1221

　　[2] 2010全球電子峰會:MEMS is Hot(上)[C].(2010-4-27). http://v.eepw.com.cn/video/play/id/1222

　　[3]迎九.時鐘出現全硅化和綠色動向[J].電子產品世界,2010(6):73

　　[4]王瑩.電子高峰會議(4):3D視頻、MEMS、ASIC/模擬IC設計工具關注[R/OL]. (2010-4-28).http://wangying1.spaces.eepw.com.cn/articles/article/item/77700

　　[5]周智勇.從嵌入CMOS MEMS振蕩器展望IC設計的潛在變革[J].電子產品世界2007(1):113