MEMS將迎來第三次發展浪潮

　　MEMS迎來第三次浪潮

　　據ADI公司預測，先進、高性能的MEMS(微機電系統)加速計及陀螺儀將轉換成各種不同的新型應用。因此，我們正在迎來一個應用MEMS的新浪潮，驅動這股浪潮的是人們對MEMS運動傳感器能力的意識獲得了提高。第一次浪潮是20世紀90年代由汽車安全系統驅動的;第二次浪潮是21世紀由消費類產品推動的。

　　ADI的副總裁兼總經理Mark Martin展示了發展圖，由圖1可見，工業和醫療是增長速度最快的領域。在對更高水平性能需求的推動下，ADI對機器人、機器安全監測以及便攜式醫藥設備方面提供iMEMS和iSensor運動信號處理技術。

　　世界主要MEMS傳感器供應商之一Bosch Sensortec公司CEO(首席執行官)Frank Melzer也認為今年MEMS將繼續增長。他說，加速度計大批量交付給客戶設備始于2006/2007年，并于此后經歷了高速增長的階段。由于移動電話已占據了最大的市場份額，因此，人們相信MEMS市場仍能進一步推動未來的成長。

　　Gartner公司調查總監Stephan Ohr從宏觀上分析了MEMS的增長態勢。Gartner把MEMS分為光學和非光學兩大類。光學MEMS如TI公司的DLP(數字投影芯片)。非光學MEMS傳感器年增長率16.2%(圖2)，2010年市場容量會突破30億美元，有望達到31億美元;2009年為28億美元。其中，汽車應用仍然保持非光學傳感器的第一位，占2009年總應用中的60%以上;但是數據處理和通信應用增長最快，數據處理包括硬盤的G-Force(重力)傳感器，通信中包括手機的可旋轉(rational)的傳感和基于位置的服務。

　　Yole Developpement公司給出了MEMS代工的發展(如圖3)，也可以看到2010年以后，將迎來新一波浪潮。