集成電路制作工藝六大步驟
集成電路制作工藝通常包括以下六大步驟:
排版(Layout):設計芯片的布局,確定各個功能模塊的位置和連接方式。
掩膜制作(Mask Fabrication):使用蝕刻光刻工藝在硅片上制作掩膜,形成電路的圖案。
沉積和蝕刻(Deposition and Etching):在硅片表面沉積材料,然后使用蝕刻工藝去除多余材料,形成電路結構。
離子注入(Ion Implantation):通過離子注入工藝向硅片中摻雜雜質,改變硅片的電學性質。
金屬化(Metallization):在硅片上沉積金屬,用于連接芯片上的不同功能模塊。
封裝(Packaging):將制作好的芯片封裝在封裝體中,用于連接外部電路和提供保護。
以上六個步驟是集成電路制作工藝中常見的步驟,不同類型的集成電路可能會有所差異。
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