增芯科技12英寸晶圓制造項目投產啟動，內含國內首條12英寸MEMS智能傳感器晶圓生產線

2024年6月28日，增芯科技12英寸晶圓制造項目在廣州增城投產啟動，該項目建設有國內首條、全球第二條的12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產線。同期舉辦“12英寸MEMS智能傳感器技術交流會暨增芯投產活動”，相關政府領導、業內專家學者和企業家等百余位嘉賓出席活動。

“增芯科技12英寸晶圓制造產線投產儀式”在增城經濟技術開發區核心區舉行。現場，增芯總經理張亮難掩激動，“增芯可以在增城生產第一批芯片產品了！”他介紹，芯片完整的制造流程涉及氣相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蝕、離子注入等步驟，分別對應不同設備。投產儀式的啟動，意味著項目已建立起制造系統，整個生產流程能夠連貫地運作。后續，增芯將通過產品良率提升和產能爬坡，加快產品交付工作。

面向粵港澳大灣區這一全球傳感器最大的應用市場，增芯專注于MEMS（微機電系統）、先進模擬／混合信號等特色芯片制造技術領域。“增芯采取差異化競爭策略，專注于高附加值的MEMS傳感器及特色細分產品市場段。”張亮表示。

項目一期產能預計于2025年底達到2萬片／月；一期工藝技術采用MEMS力學傳感器和130-55納米成熟制程。

“我們主攻的12英寸55nm-90nm工藝產品，具有性能功耗平衡、高集成度、成本效益和成熟度穩定等技術特點，在多個應用領域具備廣泛適應性，市場份額穩定。”張亮介紹，這些特性使得“增芯出品”有望在半導體市場取得獨特的地位。

投產啟動儀式現場

增芯科技12英寸晶圓制造項目于2022年12月14日啟動開工，僅歷時18個月，便完成了包括潔凈室26000平、總面積210000平、主設備300余臺搬入等項目建設。“最大的感受就是‘快’”，張亮表示。如此令人咂舌的“增芯速度”背后，是增芯科技不遺余力推動我國半導體產業發展的決心。圍繞今日投產的國內首條12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產線，增芯科技在未來將做更多的開發和應用，助力我國MEMS產業國產化率和應用水平的快速提高，推動我國MEMS產業在各大相關領域的深度發展。

不僅是MEMS產業。增芯科技同時表示，本次投產的12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產線是增芯科技12英寸晶圓制造項目的第一條產線，但絕不會是最后一條。增芯科技對我國的半導體產業前景抱有極高預期和信心，未來將有序啟動更多的產線建設，覆蓋MEMS以外的各類工藝平臺和產品類型，將科學技術運用到產品和實踐當中，為廣州、全國乃至全球的集成電路產業提供全方面的優質服務。

“增芯速度”的形成也離不開其背后民營資本力量的支持。據悉，增芯科技12英寸晶圓制造項目是由廣州灣區智能傳感器產業集團有限公司發起成立。灣區智能傳感器產業集團主要由興橙資本、福建金盛蘭和山西新民能源等三家民營資本出資籌建。在國家提倡促進民營經濟發展壯大的當下，興橙資本等股東思想統一，步調一致，積極投身新質生產力建設的國家號召當中，以18個月的“增芯速度”完成了項目首條產線的建設，并以此項目為鏈主，引進落戶了越海、廣東微技術工研院、中微廣州、智達星空等一批能級高、帶動力強的骨干項目，為廣州東部中心增城開發區打造為大灣區的“硅谷”提供了強勁動力。

“12英寸MEMS智能傳感器技術交流會暨增芯投產活動”在廣州增城凱悅酒店舉行。本場交流會以MEMS智能傳感器的產業思考為主題，與會嘉賓們就智能傳感器技術的應用展望、MEMS產業鏈發展現狀及思考等相關議題展開交流與討論。

增芯科技商務中心副總裁彭坤主持本次交流會；深圳大學微電子研究院及半導體制造研究院院長王序進院士，清華大學深圳國際研究生院副教授、晶鐵半導體技術（廣東）有限公司董事長張盛博士，上海矽睿科技股份有限公司市場研究總監陳俊等進行主題演講。

清華大學副教授、晶鐵半導體技術（廣東）有限公司董事長張盛

上海矽睿科技股份有限公司市場研究總監陳俊

主持人：增芯科技商務中心副總裁彭坤

本次交流會還設有“12英寸MEMS智能傳感器產業思考”的專家對話環節。芯謀研究副總經理鄧紅梅主持本環節，增芯科技商務中心副總裁彭坤，中國電子信息產業發展研究院（賽迪研究院）研究室主任、高級工程師馬曉凱博士，中國半導體行業協會MEMS分會常務副秘書長萬成東，深圳市鵬進高科總經理賈國軍，廣東越海集成技術有限公司總經理賴芳奇，上海矽睿科技股份有限公司市場研究總監陳俊等出席本環節。

專家對話環節