突發！ASML：部分DUV光刻機出口許可被撤銷！

1月2日消息，據ASML官網最新聲明，其NXT:2050i及NXT:2100i光刻系統的出口許可證已被荷蘭政府部分撤銷，影響中國大陸部分客戶！

美國去年10月17日公布的出口管制新規，對用于一些先進生產設施的某些次關鍵DUV浸沒光刻系統施加了限制。

按照ASML的說法，2023年基本交付了中國大陸客戶預付的DUV積壓訂單（至于2024年是不是可以繼續，ASML之前就表示不能確定。）。

事實上，2023年ASML一直都在向中國客戶供應光刻機，其中就包含了NXT:2000i和更先進的DUV型號的產品，且基本交付了中國大陸客戶預付的DUV積壓訂單。至于先進的7nm、14nm等先進的EUV光刻機，ASML依然不能給中國客戶出售。

據ASML官網提供的信息，該公司目前在售的主流浸沒式DUV光刻機產品共有三款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML預計，目前撤銷出口許可證或最新的美國出口管制限制不會對2023年財務前景產生重大影響。ASML還稱，在最近與美國政府的討論中， ASML進一步澄清了美國出口管制法規的范圍和影響。

2023年9月1日，ASML在另一份聲明中稱，其已向荷蘭政府提出TWINSCAN NXT：2000i及后續推出的浸潤式光刻系統的出口許可證申請，荷蘭政府也已頒發了截至9月1日所需的許可證，允許該公司2023年繼續發運相關光刻系統。

在上述聲明中，該公司表示：“在新的出口管制條例下，今年（指2023年）年底前ASML仍能履行已簽訂的合同，發運這些光刻設備。客戶也已知悉出口管制條例所帶來的限制，即自2024年1月1日起，ASML將基本不會獲得向中國客戶發運這些設備的出口許可證。”

來源：半導體材料與工藝