國產明場檢測設備再上新臺階，天準科技加速布局

近日，天準科技（股票代碼：688003.SH）參股的蘇州矽行半導體技術有限公司（下文簡稱“矽行半導體”）重磅宣布，其首臺面向12英寸晶圓65~90nm技術節點的寬波段明場缺陷檢測設備TB1000正式交付客戶。

伴隨著這款產品的交付，矽行半導體創造了一個里程碑，這也是中國半導體前道缺陷檢測裝備產業的一次重大突破。

國產明場缺陷檢測設備的新篇章

在半導體制造流程中，前道瑕疵檢測是當之無愧的關鍵工序之一，尤其是明場缺陷檢測，能夠檢測更廣泛的缺陷類型，是其中最為關鍵的一環，是提高產品良率、降低生產成本、推進工藝迭代的保障。同時，明場缺陷檢測設備也是技術難度最高的前道檢測設備，一直以來被國外龍頭企業壟斷，而矽行半導體就是為了打破這個局面而生的。

矽行半導體的技術骨干全部來自國內外知名大學，博碩比例超過80%，擁有多年半導體行業經驗，旨在打造國內乃至全球領先的半導體檢測裝備龍頭企業。此次推出明場缺陷檢測設備是矽行半導體實現的重要突破，也代表著中國在半導體光學檢測設備領域邁出了更加堅實的一步。

TB1000實現了精密光機電關鍵核心部件的自主可控，同時采用了先進的信號處理算法，有效提高信噪比，顯著提升了設備在關鍵制程的缺陷檢測靈敏度。

對于天準科技而言，TB1000的面世，進一步完善了公司在半導體領域的產品版圖。

天準科技的多路突圍

天準科技致力打造卓越視覺裝備平臺企業，近年來不斷加大半導體設備領域布局，是公司持續構建強大戰略產品矩陣的重要舉措。在2020年，公司啟動收購德國MueTec公司，以提供包括Overlay量測、CD量測、宏觀缺陷檢測等多款面向前道晶圓和掩膜的高精度光學量測與檢測設備。

天準科技和MueTec通過聯合研發，積極推進其產品線技術升級，2022年成功推出面向更高端技術節點的Overlay產品并已交付客戶。同時加強MueTec現有產品的市場推廣，其高速全自動宏觀缺陷檢測產品Argos系列已獲得知名客戶的批量訂單。

除收購MueTec以外，天準科技還推動成立了矽行半導體，布局挑戰更大的半導體微觀缺陷檢測設備領域。

通過海外并購、戰略投資和自主研發等多種途徑，天準科技加快了在半導體前道量測及檢測領域的布局，打造了包括晶圓微觀缺陷檢測、Overlay量測、CD量測、掩膜量測與檢測和晶圓宏觀缺陷檢測等系列產品組合。

助力半導體設備國產化

盡管相較國際半導體設備龍頭企業，國內半導體前道量測與檢測設備公司在進入市場時間、經營規模、產品種類、技術發展等方面相對落后，但近年來國內半導體產業發展迅速，屢創佳績的天準科技更是其中的典型代表。

未來，天準科技將充分發揮多年來在技術、人才和產品戰略等方面的儲備和先發優勢，以實現技術全面突圍，助力半導體設備國產化，建設國際一流半導體量測與檢測設備公司。