小流量，大助力，推進芯片發展

微電子學是全球通信的骨干中樞神經系統。未來，國家和公司的競爭能力將越來越取決于如何推動數字化轉型。芯片的發展速度直接影響了數字化進程的腳步。

從技術角度來看，

經濟和社會的中樞神經系統離不開芯片

從芯片主要應用領域的變化趨勢中可以看到，以前芯片的主要應用領域是計算機、機器控制系統和各種類型的傳感器系統。隨時代發展，現在對芯片需求量日益增加，其中通信技術已經超過了計算機，成為最大的使用領域，占比超過三分之一。

新冠病毒大流行階段并未抑制芯片行業的發展，反而凸顯了各種電子和虛擬通信基礎設施存在的弱點，間接加快了數字化的需求及相關投資。ChatGPT熱潮，更是將人工智能推向輿論中央。

我們每個人都是芯片的最終消費者。

日常生活都需要半導體產品，同樣也離不開芯片，例如日常使用的LED燈泡、數碼相機、健身手環等。不知不覺間，芯片已經滲透到我們生活的每個角落，無處不在。

能源轉型推動半導體向高質量發展

在這個能源轉型、智能設備普及、電動汽車發展日新月異的時代，芯片等半導體產品的需求量日益增加。光伏系統和儲能系統需要高性能的專用芯片，高透明度和精確的規劃是加工定制類芯片的先決條件之一，需要定制的閥門和系統解決方案來制造它們。

蓋米集團是知名的閥門、測量及控制系統制造生產商，總部位于德國，全球共設有27家獨資子公司，分支機構和商務伙伴遍布50多個國家。

在功率芯片和MEMS等產品領域，歐洲公司是市場領導者之一，并且其在建設新工廠以提高產能。它們在生產中需要蓋米解決方案。蓋米設計的VMB多通道被設計師、最終用戶和工廠工程師高度認可并投產使用。介質借助蓋米多通道進行分配。它們代表了一般的中央供應系統和實際生產部門中的加工設備之間的連接。

多通道的基礎組成原理基本相同：

?通過入口輸送介質

? 引導介質通過主管路，分配到各個支管路

? 支管路介質進入工藝段

? 集成背壓控制系統可選，以確保回路有足夠的介質供應

? 在進行維護時，多通道可徹底排空

多通道的主要優點如下：

• 一站式解決方案，可在工廠快速輕松安裝

• 配備高Kv的閥門類型

• 多通道設計，空間要求低/連接點數量少

• 系統中滯留的介質減少到可測范圍內，流量得到優化，排空得到改善

• 減少連接點數，降低泄漏風險

• 增強了整個系統的性能并減少了介質損耗

工廠生產中錯誤的規劃將導致材料污染、產線停工及不必要的調試等，降低產線效率，產生額外成本。蓋米制造的組合閥經過精準測試，具備高效防漏裝置。

蓋米閥門助力芯片制造

為滿足使用超純水和化學品的嚴苛要求，在半導體制造行業中閥門、測量及控制系統擁有著廣泛的應用，例如超純硅生產和晶片生產、濕法涂層工藝、超純水處理廠的化學品清洗流程、化學品供應及濕法制程。

自1988年起，蓋米就已經具有可應用于微電子半導體行業的超純閥門產品，并且在測量和控制系統方面的嫻熟經驗。蓋米早早意識到了潔凈室條件對生產超純閥門的重要性，從而加大了投資。2012年9月，位于瑞士Emmen的蓋米潔凈室正式投產。蓋米的超純閥門產品，全部都是在瑞士潔凈室工廠以前沿技術和工藝進行制造、噴射、清潔、裝配、檢測和包裝，在半導體市場上擁有較強的競爭力。

蓋米也與一家技術領先的設備工程公司展開合作，打造了EUV光掩膜清洗系統。EUV光掩膜盒在清洗時，通過升高系統內部溫度加快清洗過程。而此時，控制設備電源的溫度及熱去離子水的供給和混合已然成為了技術難點。

下圖展示了蓋米與合作伙伴的研發成果，通過2套帶有步進電機執行機構的蓋米C53電動控制閥與PLC及溫度傳感器緊密合作，實現了溫水流量的精準控制，進而能夠清潔高度敏感且昂貴的EUV光掩膜傳輸盒。該執行器具有以下主要優點：

• 兩個執行器并行控制，以實現盡可能快地達到所需的混合比，并在有波動的狀態下盡可能保持穩定供應

• 裝置中的“熱DI”溫度約為70-90°C

• 閥組使混合液保持溫度穩定，例如固定在63℃

• 集成止回閥可防止DI回流以防止兩條供應管線混合

• PLC、溫度傳感器和控制閥對精確的溫度控制器結果起決定性作用

蓋米集成的解決方案將日漸普及，并帶來諸多優點，如資源節約型材料的選用、更完善的功能、較長的使用壽命以及長期的成本效益。因此，最終用戶、微芯片、MEMS、LED、觸摸面板和平板屏幕制造商都將傾向并受益于業內合作所打造的集成解決方案。

萬物互聯的智能世界得益于通信技術的發展，而通信技術的發展源于半導體技術的不斷革新。共筑便利、互聯的世界是社會發展共同的愿景，更是大眾對生活的追求。德國蓋米集團作為知名的閥門、測量及控制系統制造生產企業，將不斷助力半導體行業發展，共同推進全球數字化進行。