智芯傳感：MEMS傳感器的國產化對產業發展至關重要

近期，“俄烏沖突”引發全球普遍關注，各路媒體聚焦戰事****和后續影響，紛紛發表各自的觀點與看法，各個行業領域，包括經濟、能源、航空航天、文化、體育等機構都對未來局勢做出了預測和判斷。

雖然我們無法判定未來的國際形式因這場沖突會有什么樣的后果，但有一點是確定的，那就是：無論如何，命運一定要掌握在自己的手中，否則就會處處受制于人！俄烏沖突爆發后，俄羅斯受到西方國家的各種制裁，金融系統遭受嚴重影響，網絡通訊部分時間陷入癱瘓，另外與國民生活相關的還包括“半導體制裁”。

目前，歐美各國已經宣布封鎖俄羅斯半導體原材料出口，日本已跟進美國對俄羅斯芯片、機器人等先進技術的高科技產品進行出口管制。另外，美國將采取的制裁范圍中也包含鎖定目標管制出口：限制關鍵商品出口，例如，阻止外國企業對俄羅斯銷售任何含美國技術的商品，包括軟硬件產品，尤其是汽車、智能手機、消費電子產品都不可或缺的半導體產品。

我們可以聯想到不久前美國對中國的半導體材料和高端技術的限制，其目的就是制約中國在高科技領域的發展。半導體材料是制造芯片的必需材料，如今我們的社會離不開網絡，一塊好的芯片甚至直接決定了一個國家網絡建設的成績。所以，我國從2014年（甚至更早）開始，就加強了集成電路產業發展國產化進程，保障相關產業快速崛起，突破傳感器特別是高端MEMS傳感器領域“卡脖子”的困境。

MEMS傳感器國產化的進程并非坦途，會面臨諸多的難題。比如國產芯片設計軟件不成熟，滲透率低；研發能力弱，缺乏核心技術；制作工藝設備落后，產品的穩定性低；缺少自主研發產品，產品同質化問題突出；科研成果轉化率低，市場接納率不高；企業規模小，量產難以保證。

逆境迸發能量 激勵中國企業奮勇直前

困難是存在的，但是困難也激勵了一批具有高遠志向企業的決心。北京智芯傳感科技有限公司（簡稱：智芯傳感）就是這樣一個迎難而上、奮勇前行的企業代表。

智芯傳感成立于2018年，是一家致力于MEMS傳感器研發、生產及銷售的高新技術企業。團隊核心成員來自北京大學微納電子學院，有超過20年的MEMS傳感器科研經驗。公司以京津冀國家技術創新中心成果轉化機制為平臺，擁有多項自主研發專利，技術力量雄厚，核心研發人員均具有研究生及以上學歷和多年MEMS相關領域從業經驗。

智芯傳感的產品從一開始就對標高端進口MEMS傳感器產品，研發生產工業差壓、醫療健康、消費類電子、航空航天等領域的全品類MEMS壓力傳感器，掌握了包括傳感器產品的設計、生產、封裝、標定及模組的核心流程工藝在內的六大核心技術，致力成為專業領先的MEMS壓力傳感器芯片、模組及專業解決方案提供商。

在高精度AD設計方面，采用可變速率的多階結構。在1Hz~10Hz的采樣速率下，通過可變超采樣速率可以實現不同的有效數字位。

在應力隔離結構技術方面，芯片應力隔離結構設計工藝降低了塑料封裝料對壓力計性能的影響。

在溫度標定控制技術方面，采用溫度標定與模擬技術。

在開口塑封技術方面，改進了注塑頭結構，實現開孔結構，并對注塑材料進行改性，降低了本身的應力，同時提高密閉性，使封裝應力盡量減小。

在Sensor 壓力感應膜技術方面，采用低至2μm超薄壓力敏感膜設計與制作工藝。

在Sensor和ASIC集成技術方面，由原有的壓力感應膜、IC分別流片、再進行疊層封裝技術，直接進化到同步流片集成模式，解決了MEMS感應膜與IC工藝兼容性難題。

同國際類似的產品相比，智芯傳感的集成壓力傳感器具有明顯的技術、生產、成本、面積等多方面優勢：鑒于兩片式堆疊工藝生產難度大，則采用單片集成方式，降低了工藝復雜度，完全借助成熟的IC加工平臺，不需要特殊封裝工藝平臺的支撐；封裝后尺寸及厚度較同業同類產品有明顯優勢，是其尺寸的1/4；單個晶元芯片產量是同類產品的4倍，而生產成本僅是其1/4；實現了標定線自行設計，成本是進口線的1/5至1/3。

智芯傳感壓力傳感器系列產品

智芯傳感的產品還具備高精度、高分辨率、高復雜工況適應性和低功耗等特點：通過低漂移、低噪聲壓力傳感器芯片設計和單片集成制作工藝、溫度補償算法，實現線性度、溫漂、零點漂移的精度都在1%之內；同時采用24位數字變換電路設計，實現1Pa大氣壓力測量精度；汽車車規級產品可適用于-40℃～125℃溫度等嚴格工況環境下；功耗僅為1Hz電流2.5μA。

關于智芯傳感

北京智芯傳感科技有限公司成立于2018年9月，是一家致力于MEMS傳感器研發、生產及銷售的高新技術企業。公司以北京大學MEMS研發團隊為技術依托，以京津冀國家技術創新中心成果轉化機制為平臺，擁有多項自主研發專利，技術力量雄厚，核心研發人員均具有研究生及以上學歷，并具有多年MEMS相關領域從業經驗。公司具備完整的生產能力，目前已擁有兩條自主研發的自動化生產線，年產量超1000萬只。2021年4月公司獲得ISO9001認證，為產品品質提供進一步保證。

智芯傳感深知傳感器的國產化對產業發展的重要性，始終堅持自主、可控、創新的理念，不斷夯實自身技術實力，縮短與發達國家或地區制造技術和生產能力差距，逐漸成為國內頗具影響力的傳感器解決方案提供商。