- ASM International透露其競爭對手Tokyo Electron Ltd.已收購了其4.9%的股份。
ASMI還宣布某家臺灣代工廠已選擇了ASMI的Pulsar原子層淀積(ALD)設備，用于28nm節點高k柵介質工藝的量產。
業界猜測該代工廠是臺積電。臺積電正在開發28nm高k金屬柵工藝，但該公司拒絕對細節進行評論。其競爭對手聯電也在開發28nm高k工藝。
- 關鍵字：
臺積電 高k
- 盡管IC市場低迷，但硅代工市場正在回暖，IBM的“晶圓廠俱樂部(fab club)”近日正式推出基于高k金屬柵的28nm工藝。
該28nm技術正在認證中，是由IBM合作平臺的成員聯合開發，包括IBM、特許、GlobalFoundries、英飛凌、三星和意法。
據悉，倍受期待的28nm工藝可從現有的32nm工藝無縫轉移。該集團的32nm技術在去年發布，基于面向低功耗等應用的“柵優先(gate-first)”高k和金屬柵技術。
該集團的32
- 關鍵字：
IBM 金屬柵 高k IC
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