- 無法制造純國產的高端芯片,是國人心中隱隱的痛!目前來說,阻礙國產高端芯片的最大瓶頸就是極紫外光刻機。但是,即使有了極紫外光刻機,也需要光刻膠和掩膜版來進行配套才行。一、光刻機不是直接刻蝕芯片正如上一個關于光刻機的視頻所說,芯片生產用的光刻機,只是起到曝光的作用,并不進行刻蝕。要想用光刻機進行直接刻蝕,必然面臨以下幾個難題。首先,要把激光功率做到足夠大,需要把硅或一些金屬氧化物直接氣化剝離。目前來說,波長越短的激光光源制造越困難,實現大功率越難,現有的紫外、極紫外光源難以產生足夠強的激光。尤其是極紫外光源,
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光刻膠 掩膜版
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