- 相位解包裹是使用相移顯微干涉法測量MEMS/NEMS表面3-D輪廓時的重要步驟.本文針對普通的相位解包裹方
法在復雜輪廓或包含非理想數據區(qū)的表面輪廓測量中的局限性,提出一種基于模板的廣度優(yōu)先搜索相位展開方法.通過模板
的使用,先將非相容區(qū)域標記出來,在相位解包裹的過程中繞過這些區(qū)域,即可得到準確可靠的相位展開結果.通過具體的應
用實例可以證明,使用不同模板可以根據不同應用的需要靈活而準確地實現微納結構表面3-D輪廓測量中的相位展開.
關鍵詞:MEMS/NEMS;表面
- 關鍵字：
模板 相位 包裹 算法 基于 測量 表面 3-D 輪廓 MEMS/NEMS
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