- KLA-Tencor 公司（納斯達克股票代碼：KLAC）今天推出其領先業界的最新版計算光刻機 PROLITH 11。這種新型光刻機讓用戶首次得以評估當前的二次成像方案，并以較低的成本針對光刻在設計、材料與制程開發等方面挑戰，嘗試不同的解決方案。這種新型計算光刻機還支持單次成像和浸沒技術。
KLA-Tencor 制程控制信息部副總裁兼總經理 Ed Charrier 指出：“由于光刻復雜性及實驗成本的大幅增加，電路設計師與芯片制造商不得不面對二次成像光刻所帶來的挑戰。計算光刻已成為控制這
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KLA-Tencor 光刻機 二次成像光刻
二次成像光刻介紹
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