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mems壓力傳感器文章進入mems壓力傳感器技術社區(qū)

ABB電壓傳感器的應用

1引言隨著我國經(jīng)濟的發(fā)展和生活水平的日益提高，城市人口和建設規(guī)模的不斷擴大，各種用電設備的日益增多，廣大...
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可編程超聲波物位計在田壩電站攔污柵上的應用

一、超聲波物位計沒測量水位概況攔污柵位于進水口前，其作用為攔住雜物，防止雜物進入水輪機蝸殼，影響機組正常...
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線性溫度傳感器使用指南

1．什么是線性NTC溫度傳感器？線性溫度傳感器就是線性化輸出的負溫度系數(shù)（簡稱NTC）熱敏元件，它實際上是一種線性溫...
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汽車傳感器發(fā)展綜述

汽車傳感器是汽車電子技術領域研究的核心內(nèi)容之一，本文簡單介紹了國內(nèi)汽車傳感器的應用發(fā)展情況，主要介紹了汽...
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伺服式液位計在油水界面測量領域的應用

長期以來，油田的油水界面測量一直是工業(yè)過程測量領域的一個難題，而油水界面這一參數(shù)對于每一個采油廠都是非常...
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傳感器在汽車行業(yè)的應用

現(xiàn)代的“汽車”觀念正發(fā)生著巨大的變化，正向著能滿足人類需求的安全、舒適、方便、無污染的方向發(fā)展。汽車...
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智能差壓變送器的初級應用

一、前言基于微處理器的現(xiàn)場智能儀表是順應現(xiàn)場總線而產(chǎn)生的，同樣，現(xiàn)場智能儀表的應用也為現(xiàn)場總線的開發(fā)與...
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發(fā)動機傳感器：置身“水深火熱”之中

發(fā)動機的燃燒室因受其結構設計的制約，2000℃的高溫、高達90bar（1bar=105Pa）的壓力以及每分鐘幾千次的爆燃使得...
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信息時代的傳感器技術

現(xiàn)實世界的信息是通過傳感器獲得的，與人們的生活息息相關。傳感器已大舉進入工業(yè)自動化、汽車工業(yè)、航天、生...
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多傳感器信息融合技術在提高孔板測量精度中的應用

前言多傳感器信息融合技術是當前智能信息處理領域的一種重要方法。所謂多傳感器信息融合就是將多個傳感器...
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傳感器技術和產(chǎn)品發(fā)展的重點

引言傳感器技術是現(xiàn)代科技的前沿技術，是制造業(yè)自動化和信息化的基礎。隨著國內(nèi)工業(yè)自動化、信息化和國防現(xiàn)...
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非接觸式傳感器在離散制造業(yè)的應用

接近和光電傳感產(chǎn)品和技術的智能程度不斷提高，尺寸越來越小，成本越低，應用范圍越來越廣。關于離散傳感器的話...
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新一代汽車智能傳感器

電子信息技術已經(jīng)成為新一代汽車發(fā)展方向的主導因素，汽車動力性能、操控性能、安全性能和舒適性能等各個方面...
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西門子雷達液位計在上海賽科聚苯乙烯裝置上的成功應用

上海賽科石化有限責任公司（簡稱：SECCO）位于上海化學工業(yè)園區(qū)，是目前中國最大的合資石化公司，是英國BP、中石化和...
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雷達物位計在高爐上的應用

一、序言高爐上的物位量是鋼鐵行業(yè)中一個非常重要的測量數(shù)據(jù)，它對于鋼鐵生產(chǎn)的質(zhì)量控制、提高生產(chǎn)效率和提...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術廣泛應用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應力變化，相應的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細 ]

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