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諧振式硅微結構壓力傳感器的開環(huán)特性測試

在1954年貝爾實驗室Smith發(fā)現(xiàn)了硅壓阻效應，促使了微機電系統(tǒng)MEMS技術的誕生和迅速發(fā)展，并首先在硅微機械傳感...
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優(yōu)化移動控制：發(fā)揮旋轉變壓器的最大效能

設計在艱苦環(huán)境中運行的動作控制系統(tǒng)時，對于工程師們來說，最頭痛的事情是尋找到能夠提供各個運動的機器元件精...
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實現(xiàn)氣動系統(tǒng)的精確定位

在很多使用氣缸的氣動控制系統(tǒng)中，僅僅依靠對活塞位置的測定已滿足不了用戶對高精度的要求。只有連續(xù)不斷地位...
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使用加速度計的低功率模式和自動喚醒/休眠模式

加速度計是常用于手持電子和/或電池供電的電子器件。整個系統(tǒng)的耗電量是產(chǎn)品設計的重要特性。用戶希望不必...
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暖通空調中的傳感器應用

暖通空調的概念包括采暖（Heating）、通風（Ventilation）、空調（AirCondition），因此與中央空調相比具有更廣義的概念...
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壓力變送器的工作原理及應用

google_protectAndRun(ads_core.google_render_ad,google_handleError,google_render_ad);壓力變送器...
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利用超聲傳感器進行精確的液位檢測

在實驗室自動化中要用到大量的微生物培養(yǎng)用孔板和試管對液體進行分析。采用新的超聲傳感器，能夠快速地、以精...
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淺談溫度傳感器

溫度是一個基本的物理量，自然界中的一切過程無不與溫度密切相關。溫度傳感器是最早開發(fā)，應用最廣的一類傳感器...
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多元傳感檢測系統(tǒng)：測量復雜工件的最佳選擇

OGPSmartScope多元傳感測量系統(tǒng)用於三維尺寸測量，該系統(tǒng)利用兩個或多個不同傳感器技術從工件表面獲取數(shù)據(jù)點...
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傾角傳感器在工程設備上的應用

現(xiàn)在越來越多的工程機械設備從傳統(tǒng)的機械—液壓系統(tǒng)向電子—液壓系統(tǒng)轉變，特別是CANBus總線的廣泛應用為工程...
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車用傳感器的開發(fā)趨勢及預測

全球傳感器市場正呈現(xiàn)出快速增長態(tài)勢。據(jù)悉，2008年全球傳感器市場容量為506億美元，預計2010年全球傳感器市場...
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化工廠中的智能傳感器

一般的傳感器只能作為敏感元件，須配上變換儀表來檢測物理量、化學量等的變化。隨著微電子技術的發(fā)展，出現(xiàn)了智...
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汽車傳感器--系統(tǒng)整合的未來

固態(tài)傳感器在汽車上的應用越來越廣泛，這提高了系統(tǒng)的整合水平。系統(tǒng)設計師也通過所謂的“傳感器融合”方式在...
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集成壓力傳感器的無源胎壓監(jiān)控系統(tǒng)

2002年，由于凡世通(Firestone)輪胎的質量問題，造成了超過100人死亡和400人受傷的事件，引起了汽車業(yè)和美國政府...
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電子傾角傳感器在塔吊監(jiān)控中的應用

google_protectAndRun(ads_core.google_render_ad,google_handleError,google_render_ad);隨著建筑業(yè)...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術廣泛應用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應力變化，相應的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細 ]

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