mems傳感器介紹
MEMS(Micro-Electro-mechanical Systems)是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細加工技術(shù)，并應用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學科。
MEMS技術(shù)的發(fā)展開辟了一個全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)，采用MEMS技術(shù)制作的微傳感器、微執(zhí)行器、微型構(gòu)件、微機械光 [ 查看詳細 ]
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