- 液化空氣集團電子氣業務線近日宣布，其應用于半導體制造的前驅體ZyALD已獲得中國專利局授予的相關專利，從而使中國成為了繼韓國、新加坡、中國臺灣以及部分歐洲國家之后又一獲得該項專利的國家。此外，相關專利的申請工作在其他國家及地區也預期順利。ZyALD及其它類似分子應用于高介電常數沉積鍍膜，該工藝目前已在全球范圍內獲得11項專利，另有13項專利正在申請中。
ZyALD是上述已獲專利的系列分子中一種重要的鋯前驅體(功能分子)。該分子能夠在半導體制造工藝中，實現高溫條
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液化空氣 ZyALD ALD
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