- Entegris, Inc.，一家為先進制造環境提供良率提升材料和相關解決方案的領先企業，日前發布了 VaporSorb™ 系列氣體分子污染 (AMC) 過濾器的新產品。此款新型的“多合一”單過濾器可在半導體制造的化學機械研磨 (CMP) 工藝中去除關鍵 AMC。領先的過濾器品牌 VaporSorb 在半導體制造的關鍵步驟中主要用于潔凈室環境和生產機臺，是面向 CMP 生產機臺的首款過濾器，可抵御弱酸以及其他污染物。
此款新型過濾器專為 CMP 機臺設計，可為
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Entegris 半導體 VaporSorb
- Entegris Inc.是一家為先進制造環境提供良率提升材料和解決方案的領先企業,公司今日發布了 VaporSorb 系列氣體分子污染 (AMC) 過濾器的衍生產品。VaporSorb 是領先的過濾器品牌，在半導體制造的關鍵步驟中主要用于潔凈室環境和生產機臺。VaporSorb 過濾器已發展為捕獲氣體有機物、堿基類和強酸的一體式過濾器。新型 VaporSorb TRK 添加了獨特材料，是首款不僅能夠捕獲三大核心污染物，而且還能捕獲第四類污染物(定義為弱酸的一組污染物)的過濾器。
此款新型過濾器
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Entegris VaporSorb 過濾器
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