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中微公司 12英寸 薄膜沉積設備 Preforma Uniflex? CW
- 中國上海，2023年5月9日—— 近日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）推出自主研發的12英寸低壓化學氣相沉積(LPCVD)設備Preforma Uniflex? CW。這是中微公司深耕高端微觀加工設備多年、在半導體薄膜沉積領域取得的新突破，也是實現公司業務多元化增長的新動能。 圖片注釋：中微公司12英寸低壓化學氣相沉積產品Preforma Uniflex? CW作為中微公司自主研發的產出效率高且性能卓越的12英寸LPCVD設備，Preforma U
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