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KLA-Tencor宣布安裝處理450mm硅片的Surfscan?SP3系統(tǒng)
- KLA-Tencor 公司(納斯達(dá)克股票代碼：KLAC)日前宣布其第一臺能夠檢測 450mm 硅片的半導(dǎo) 體制程控制系統(tǒng)已裝機(jī) 。該系統(tǒng)被命名為 Surfscan SP3 450, 是市場領(lǐng)先的 Surfscan? SP3 平臺的最新配置。這種全自動(dòng)化的無圖案硅片檢測系統(tǒng)是為滿足 20nm 及以下制程缺陷與表面品質(zhì)特性的嚴(yán)格要求而專門設(shè)計(jì)。
- 關(guān)鍵字： KLA-Tencor Surfscan 硅片
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