- KLA-Tencor正式發布最新 SURFmonitor 系統，該模塊擴展了業界領先的 Surfscan SP2 無圖形表面檢測系統，超越了傳統的缺陷檢測范圍，具備監控工藝變化和偏移的能力。SURFmonitor 系統專門用于測量裸晶片或薄膜表面形態變化，而這些變化與多種工藝參數如表面粗糙度、微粒尺寸和溫度等均有關聯。該系統可在收集缺陷信息的同時，在不到一分鐘時間內生成具備亞埃級重復性的詳細全晶片參數圖，使代工廠能夠同時監控工藝變化和缺陷情況。S
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嵌入式系統 單片機 KLA-Tencor SURFmonitor 嵌入式
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