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KLA-Tencor推出Teron? SL650 光罩檢測系統(tǒng)
- KLA-Tencor 公司(納斯達克股票代碼：KLAC)宣布推出 Teron? SL650，該產品是專為集成電路晶圓廠提供的一種新型光罩質量控制解決方案，支持 20nm 及更小設計節(jié)點。Teron SL650 采用 193nm光源及多種 STARlight? 光學技術，提供必要的靈敏度和靈活性，以評估新光罩的質量，監(jiān)控光罩退化，并檢測影響成品率的光罩缺陷，例如在有圖案區(qū)和無圖案區(qū)的晶體增長或污染。此外，Teron SL650 擁有業(yè)界領先的產能，可支持更快的生產周期，以滿足檢驗
- 關鍵字： KLA-Tencor SL650 EUV
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