- ASM International內華達州,今天推出了其PowerFillTM的外延硅(Epi Si)溝槽填充工藝。新工藝可使帶有摻雜物的外延硅深溝無縫隙填充。 PowerFill是一個精湛的工藝技術,因為它是同類流程速度的3倍,降低制造成本,創造了為電源設備設計在設計程度上新的級別。
Fairchild半導體公司是第一家客戶,以處理其先進電源管理器件,已完成其在韓國工廠的核實。對于這種應用,ASM的PowerFill的處理可以實現電源管理器件和電路的占用空間,從而減少損耗和生產成本。
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ASM 電源設備 PowerFill
- ASM今天推出了其PowerFill(TM)的外延硅(Epi Si)溝槽填充工藝。新工藝可使帶有摻雜物的外延硅深溝無縫隙填充。 PowerFill是一個精湛的工藝技術,因為它是同類流程速度的3倍,降低制造成本,創造了為電源設備設計在設計程度上新的級別。
Fairchild半導體公司是第一家客戶,以處理其先進電源管理器件,已完成其在韓國工廠的核實。對于這種應用,ASM的PowerFill的處理可以實現電源管理器件和電路的占用空間,從而減少損耗和生產成本。
“對于離散式功率的要求M
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ASM 電源管理 PowerFill
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