mems陀螺儀介紹
mems陀螺儀即硅微機電陀螺儀，絕大多數的MEMS陀螺儀依賴于相互正交的振動和轉動引起的交變科里奧利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集機械元素、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統。 但是 MEMS 陀螺儀(gyroscope)的工作原理不是這樣的,因為要用微機械技術在硅片襯底 上加工 [
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