- 如今對于一些技術節點，設計人員需要在晶圓代工廠流片和驗收之前進行光刻友好設計(Litho Friendly Design) 檢查。由于先進節點的解析度增進技術(RET) 限制，即使在符合設計規則檢查 (DRC) 的設計中，我們仍看到了更多的制造問題。
- 關鍵字：
模型 光刻 DRC MBH
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