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KLA-Tencor 推出基于 Linux 的新型產(chǎn)品 LithoWare

• 　　KLA-Tencor正式推出基于 Linux 的新型產(chǎn)品 LithoWare，該系統(tǒng)可幫助半導(dǎo)體電路設(shè)計(jì)人員大幅度降低 RET* 和 OPC* 工藝開發(fā)的時(shí)間和成本。LithoWare是一款基于業(yè)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)的PROLITH 模型的光刻優(yōu)化工具，它允許客戶同時(shí)優(yōu)化 RET 和工藝條件，并將校準(zhǔn)數(shù)據(jù)采集降至最少，從而有效縮短從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)的時(shí)間。 　　“LithoWare 擁有無(wú)可比擬的預(yù)測(cè)精度以及在 Linux 計(jì)算機(jī)集群上運(yùn)行的特性，它為 RET 開發(fā)人員提供了雙項(xiàng)優(yōu)勢(shì)。”KLA-Tencor Corpo
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