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國內首臺高端LED刻蝕機交付使用

• 　　近日，由北方微電子開發(fā)的ELEDETM330高密度等離子ICP刻蝕機完成組裝調試，正式交付客戶使用。ELEDETM330是北方微電子半導體刻蝕技術在LED領域的成功擴展，該設備的成功上線，標志著國產LED刻蝕設備已得到主流生產線的認可，使我國高端LED設備的國產化水平得到了新的提升。 　　北方微電子多年來一直致力于半導體高端工藝裝備的研發(fā)與制造。2009年北方微電子借助半導體刻蝕設備領域積累的豐富經驗，開發(fā)了專為LED生產領域的刻蝕應用而全新設計的感應耦合高密度等離子體刻蝕機。作為我國首臺直接面向L
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