- 佳能將于2022年8月初發售KrF ※1半導體光刻機“FPA-6300ES6a”的“Grade10”產能升級配件包（以下簡稱“Grade10”升級包）。KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a” 自發售至今，已經在生產存儲器和邏輯電路的大型半導體器件制造廠商中收獲良好口碑，此次發布的“Grade10”升級包將助力該設備在300mm晶圓規格基礎上，以每小時高達300片※2晶圓的加工能力實現半導體光刻行業內的更高水平※3。
- 關鍵字：
光刻機 KrF
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