- 近日，應用材料公司推出最先進的缺陷再檢測SEM(掃描電子顯微鏡)SEMVision™ G4系統，它將應用材料公司非常成功的SEMVision系統的技術和生產能力提升到45納米及更小的技術節點。SEMVision G4系統的關鍵在于全新的SEM聚焦離子槍技術和增強的多視角SEM成像系統(MPSI)，他們具有卓越的2納米物理精度，能提供無與倫比的成像質量，其每秒一個缺陷的檢測速度也設定了新的基準。
應用材料公司工藝診斷和控制事業部SEM部門總經理Ronen Benzion表示：“45納米
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測試 測量 應用材料 EMVision G4 SEM 測量工具
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