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什么是三維微電子機械系統(tǒng)
- 微機電 (MEMS) 技術(shù)在電子產(chǎn)品中的地位愈來愈重要，不論是在汽車、工業(yè)、醫(yī)療或軍事上需要用到此類精密的元器件，在信息、通訊和消費性電子等大眾的市場，也可以看到快速增長的MEMS應(yīng)用。
- 關(guān)鍵字： 三維微電子機械系統(tǒng) MEMS CMOSMEMS
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