- 1 引言
高量程微機械壓阻式加速度傳感器在沖擊測試、軍用引信中運用相當廣泛。可靠性研究是微電子機械系統 MEMS產業化的關鍵，對于微加速度傳感器更是如此。由于應用環境的特殊性，高量程微加速度傳感器必須具有
- 關鍵字：
測試 傳感器 加速度 高量程 新型 傳感
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