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        高介電 文章 最新資訊

        高介電常數柵電介質/金屬柵極的FA CMP技術

        • 高介電常數柵電介質和金屬柵極技術(以下簡稱HKMG)使摩爾定律在45/32納米節點得以延續。目前的HKMG工藝有兩 ...
        • 關鍵字: 高介電  常數柵  電介質/金屬柵極  FA  CMP  
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        高介電介紹

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