等離子體 文章 最新資訊
等離子體調(diào)制器可以打破無線太赫茲障礙
- 現(xiàn)代電信基礎(chǔ)設(shè)施依賴于廣泛的技術(shù)。但具有諷刺意味的是,其中一些技術(shù)無法輕松相互通信。例如,用于無線通信的電信號不能僅僅被推入構(gòu)成現(xiàn)代網(wǎng)絡主干的光纖基礎(chǔ)設(shè)施中。相反,它們必須首先轉(zhuǎn)換為 light (然后再次轉(zhuǎn)換回來)。這項重要任務由稱為電光 (EO) 調(diào)制器的網(wǎng)絡組件執(zhí)行。“你擁有的所有信息都在電氣領(lǐng)域,但一旦它離開你的房子,它就會進入光纖。因此,您需要能夠以極快的速度從電信號編碼到光學世界信號的組件。這就是調(diào)制器的用武之地,“瑞士蘇黎世聯(lián)邦理工學院 ETH Zurich 信
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通快霍廷格電子攜前沿等離子體電源解決方案亮相SEMICON China 2025
- ●? ?通快霍廷格電子等離子體射頻及直流電源為晶圓制造的沉積、刻蝕和離子注入等關(guān)鍵工藝提供精度、質(zhì)量和效率的有力保障。●? ?立足百年電源研發(fā)經(jīng)驗,通快霍廷格電子將持續(xù)通過創(chuàng)新等離子體電源解決方案,助力半導體產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)工藝優(yōu)化、產(chǎn)品穩(wěn)定和降本增效。TruPlasma RF 1000(G3)通快霍廷格電子將于3月26日-28日亮相SEMICON China 2025,展示其針對半導體領(lǐng)域的等離子體電源產(chǎn)品、前沿解決方案和相關(guān)技術(shù)。(通快霍廷格電子展臺:T2館T2203)
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基于光學發(fā)射光譜法監(jiān)測等離子體的光譜峰
- 海洋光學(Ocean Optics)長期以來一直為半導體工藝設(shè)備供應商的新材料研究提供強大支持,同時協(xié)助用戶克服等離子刻蝕、沉積、涂層和清潔等方面的困難和挑戰(zhàn)。海洋光學的光譜儀,基于光學發(fā)射光譜技術(shù),被廣泛應用于等離子體監(jiān)測,并在刻蝕終點檢測方面表現(xiàn)出色。實驗配置:實驗采用光學發(fā)射光譜(OES)方法,分別使用紫外波段的ST微型光譜儀、通用型SR4光譜儀以及高分辨率的HR4和HR6光譜儀進行測試。所有光譜儀均配置了25μm的狹縫,積分時間設(shè)定為1秒,平均次數(shù)設(shè)置為1,滑動平均設(shè)置在0-1之間。根據(jù)具體使用情
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精確跟蹤芯片蝕刻過程,用高分辨率光譜儀監(jiān)測等離子體

- 在半導體行業(yè),晶圓是用光刻技術(shù)制造和操作的。蝕刻是這一過程的主要部分,在這一過程中,材料可以被分層到一個非常具體的厚度。當這些層在晶圓表面被蝕刻時,等離子體監(jiān)測被用來跟蹤晶圓層的蝕刻,并確定等離子體何時完全蝕刻了一個特定的層并到達下一個層。通過監(jiān)測等離子體在蝕刻過程中產(chǎn)生的發(fā)射線,可以精確跟蹤蝕刻過程。這種終點檢測對于使用基于等離子體的蝕刻工藝的半導體材料生產(chǎn)至關(guān)重要。等離子體是一種被激發(fā)的、類似氣體的狀態(tài),其中一部分原子已經(jīng)被激發(fā)或電離,形成自由電子和離子。當被激發(fā)的中性原子的電子返回到基態(tài)時,等離子體
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CAN總線在流光放電等離子體煙氣脫硫監(jiān)控系統(tǒng)的應用
- 隨著我國經(jīng)濟的發(fā)展,能源消費帶來的環(huán)境污染也越來越嚴重。燃煤煙氣中排放的二氧化硫和氮氧化物占全國總排放...
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