- 全新推出的PE2O8碳化硅外延機臺是對行業領先的ASM單晶片碳化硅外延機臺產品組合（包含適用于6英寸晶圓的 PE1O6 和適用于8英寸晶圓的 PE1O8）的進一步增強。該機臺采用獨立雙腔設計，兼容6英寸和8英寸晶圓，可實現增加產量的同時，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半導體亮相于深圳舉辦的首屆灣芯展（SEMiBAY 2024）。在國際化合物半導體產業發展論壇上，ASM推出了最新推出的適用于碳化硅外延的新型雙腔機臺PE2O8。該產品專為滿足先進碳化硅功率器件的制造需求而設計，是一款擁有低
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ASM 碳化硅外延機臺
碳化硅外延機臺介紹
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