碳化硅外延機臺 文章 最新資訊
ASM推出全新PE2O8碳化硅外延機臺
- 全新推出的PE2O8碳化硅外延機臺是對行業(yè)領(lǐng)先的ASM單晶片碳化硅外延機臺產(chǎn)品組合（包含適用于6英寸晶圓的 PE1O6 和適用于8英寸晶圓的 PE1O8）的進一步增強。該機臺采用獨立雙腔設(shè)計，兼容6英寸和8英寸晶圓，可實現(xiàn)增加產(chǎn)量的同時，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半導(dǎo)體亮相于深圳舉辦的首屆灣芯展（SEMiBAY 2024）。在國際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇上，ASM推出了最新推出的適用于碳化硅外延的新型雙腔機臺PE2O8。該產(chǎn)品專為滿足先進碳化硅功率器件的制造需求而設(shè)計，是一款擁有低
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碳化硅外延機臺介紹
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