硅電容式壓力傳感器文章進入硅電容式壓力傳感器技術(shù)社區(qū)

基于高溫的微型壓力傳感器設(shè)計方案

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關(guān)鍵字：微型壓力傳感器硅電容式壓力傳感器高溫壓力傳感器

MEMS壓力傳感器及其應(yīng)用

簡述MEMS壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與工作原理，并探討了其應(yīng)用、壓力傳感器Die的設(shè)計及生產(chǎn)成本分析，覆蓋了從系統(tǒng)應(yīng)用到銷售鏈。
關(guān)鍵字：華潤矽威集成電路 MEMS壓力傳感器惠斯頓電橋硅薄膜應(yīng)力杯硅壓阻式壓力傳感器硅電容式壓力傳感器 200906

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硅電容式壓力傳感器介紹

電容式壓力傳感器　　capacitive type pressure transducer 　　利用電容敏感元件將被測壓力轉(zhuǎn)換成與之成一定關(guān)系的電量輸出的壓力傳感器。它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極，當(dāng)薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化，通過測量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器，可分 [ 查看詳細(xì) ]

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