- 基于MEMS硅微加速度傳感器的設計方案-硅微加速度傳感器是MEMS器件中的一個重要分支，具有十分廣闊的應用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優點，而且 該種傳感器在強輻射作用下能正常工作，使其近年來發展迅速。
- 關鍵字：
硅微加速度傳感器 MEMS器件 壓阻式加速度傳感器
硅微加速度傳感器介紹
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