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硅微加工文章最新資訊

基于MEMS技術的微型氣相色譜柱的研制

目前，微型氣相色譜系統的發展方向是微型化和集成化，把進樣器、預集中器、色譜柱、加熱器、檢測器都集成在單個...
關鍵字：色譜柱柱溫固定相氣相色譜擴散系數硅微加工 Giddings-Golay Martin-James Michigan MartinATP

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硅微加工介紹

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