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MEMS(微電子機械系統)技術是一種使產品集成化、微型化、智能化的微型機電系統。在半導體集成電路技術之上發展起來的硅基MEMS制造技術目前使用十分廣泛。
- 關鍵字：
Honeywell 硅基MEMS
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