- 由無錫中微晶園電子有限公司牽頭承擔的國家重點研發計劃“重大科學儀器設備開發”重點專項“高靈敏硅基雪崩探測器研發及其產業化技術研究”項目經過近兩年的努力,突破了低抖動、大光敏面硅單光子探測芯片設計、界面電場調控的離子注入和氧化層制備、低噪聲芯片封裝等關鍵技術,開發出硅單光子探測器樣機。近日,項目順利通過了科技部高技術中心組織的中期檢查。
- 關鍵字:
探測器 硅單光子 進展
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