硅單光子 文章 進入硅單光子技術(shù)社區(qū)

硅單光子探測器取得重要進展

• 由無錫中微晶園電子有限公司牽頭承擔(dān)的國家重點研發(fā)計劃“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”重點專項“高靈敏硅基雪崩探測器研發(fā)及其產(chǎn)業(yè)化技術(shù)研究”項目經(jīng)過近兩年的努力，突破了低抖動、大光敏面硅單光子探測芯片設(shè)計、界面電場調(diào)控的離子注入和氧化層制備、低噪聲芯片封裝等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)出硅單光子探測器樣機。近日，項目順利通過了科技部高技術(shù)中心組織的中期檢查。
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