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FSI國際宣布在硅化物形成步驟中的金屬剝離技術(shù)取得突破

• 　　FSI 國際有限公司宣布已成功地采用FSI ViPR™技術(shù)在自對準(zhǔn)多晶硅化物形成后去除了未反應(yīng)的金屬薄膜。通過實現(xiàn)這一新的工藝，IC制造商可以在鈷、鎳和鎳鉑硅化物集成過程中，大幅度減少化學(xué)品的使用和降低對資金的要求。新訂購的FSI ZETA® Spray Cleaning System噴霧式清洗系統(tǒng)中已經(jīng)采用了FSI ViPR™技術(shù)，并將用于升級最近已經(jīng)在生產(chǎn)現(xiàn)場安裝的系統(tǒng)。 　　鎳鉑硅化物最早應(yīng)用于65nm邏輯器件，因為它的阻抗更低，從而可實現(xiàn)器件性能的大幅改善。但
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