研磨拋光墊技術(shù) 文章 最新資訊

應(yīng)用材料公司推出先進(jìn)的化學(xué)機(jī)械研磨拋光墊技術(shù)

•  近日，應(yīng)用材料公司宣布為200mm CMP（化學(xué)機(jī)械研磨）系統(tǒng)推出創(chuàng)新的Applied DuraPad CMP（化學(xué)機(jī)械研磨）拋光墊技術(shù) 。DuraPad的使用壽命比現(xiàn)有的研磨墊至少延長(zhǎng)了30%，有效地增加了機(jī)臺(tái)的有效使用時(shí)間，替客戶節(jié)約了可觀的擁有成本。在DuraPad制造過(guò)程中采用先進(jìn)的six-sigma 制造技術(shù)保證了研磨墊不同批次之間性能的一致性，從而確保獲得良好的CMP研磨效果。 應(yīng)用材料公司全球服務(wù)部總經(jīng)理兼資深副總裁Manfred
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