- 近日從中國建筑材料科學研究總院(以下簡稱建材總院)獲悉，基于光刻用石英玻璃基板(以下簡稱石英玻璃基板)綠色制造技術，建材總院石英院在衢州建立了國內首條從基板原材料制造到產品加工的成套生產線，該生產線可年產20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及產品長期依賴進口的局面。
該生產線的建立，是建材總院承擔的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關鍵技術研發及示范”課題的成果之一。
玻璃基板是
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石英玻璃基板 晶圓
- 近日從中國建筑材料科學研究總院(以下簡稱建材總院)獲悉，基于光刻用石英玻璃基板(以下簡稱石英玻璃基板)綠色制造技術，建材總院石英院在衢州建立了國 內首條從基板原材料制造到產品加工的成套生產線，該生產線可年產20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及產品長期依賴進口的局 面。
該生產線的建立，是建材總院承擔的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關鍵技術研發及示范”課題的成果之一。
玻璃基
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石英玻璃基板
石英玻璃基板介紹
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