- 應用材料公司今天宣布其下一代電子束檢測系統已在多家領先的晶圓代工廠，以及邏輯芯片、DRAM和3D NAND工廠得到廣泛應用。隨著客戶逐漸轉向更先進的技術節點，這款新一代電子束檢測系統能夠為其提供最高的分辨率和圖像質量，同時保持最快的檢測速度。
應用材料公司新的 PROVision™系統是目前業界最先進的電子束檢測工具，結合了應用材料公司在電子束復查和測量領域長達20多年的領先經驗和最新創新成果。作為唯一的電子束熱點檢測工具，該系統提供精確到1納米的分辨率，使客戶能夠準確檢測出其他技術
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應用材料 電子束檢測
電子束檢測介紹
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