電子束光刻機(jī) 文章 最新資訊

電子束光刻機(jī)將用于芯片量產(chǎn)？

• 近日，一些媒體報(bào)道了英國(guó)部署近日，一些媒體報(bào)道了英國(guó)部署電子束光刻機(jī)相關(guān)的新聞，并號(hào)稱打破 ASML 的 EUV 技術(shù)壟斷。部分報(bào)道甚至號(hào)稱這是全球第二臺(tái)電子束光刻機(jī)，能繞過(guò) ASML。實(shí)際上當(dāng)前沒(méi)有任何信息表面該電子束曝光機(jī)可以用于 5nm 制程的芯片量產(chǎn)的光刻環(huán)節(jié)。在這些媒體的報(bào)道中，英國(guó)似乎已經(jīng)拳打 ASML，腳踢 EUV 了。那事實(shí)真的如此嗎？實(shí)際情況到底如何呢？英國(guó)部署全球第二臺(tái) 200kV 電子束光刻設(shè)備實(shí)際上，英國(guó)南安普敦大學(xué)宣布的是，成功開(kāi)設(shè)了日本以外首個(gè)分辨
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