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有源像素
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用于通用X射線應用的晶圓級有源像素CMOS圖像傳感器
摘要: 本文以使用標準CMOS技術和有源像素架構的CMOS有源像素傳感器為研究對象。該傳感器專為X射線成像系統而設計,具有噪聲低和感光度高等特點。這種傳感器已使用標準0.35μm技術和8″晶圓得到生產。傳感器分辨率為每40 x 40μm2 面積3360 x 3348像素。其對角長度略大于190mm。本文對傳感器的圖紙設計、拼接圖和已得到開發的電子光學性能進行了論述。 &nbs
關鍵字:
CMOS
X射線
電源技術
晶圓級
模擬技術
圖像傳感器
有源像素
其他IC
制程
設備診斷類
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