- 本文主要討論以晶片的紅外透射原理為基礎，設計和搭建了紅外檢測裝置及相關的軟件模塊，并同硅片鍵合裝置結合，實現快速有效的在線鍵合工藝監控和晶片鍵合質量的初步評估。
- 關鍵字：
晶片鍵合 紅外檢測 質量 系統設計
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