- 日前，KLA-Tencor 公司推出了 Surfscan® SP2XP，這是一套專供集成電路(IC) 市場采用的全新控片檢測系統，該系統是根據去年在晶片制造市場上推出并大獲成功的同名姊妹機臺開發而成。全新的 Surfscan SP2XP 對硅、多晶硅和金屬薄膜上的缺陷靈敏度更高，且與其上一代業界領先的產品 Surfscan SP2 相比，在按缺陷類型和大小來分類方面具有更強能力。其特性還包括真空承載裝置和業界最佳的生產能力。這些功能是為芯片制造商在晶片廠提供卓越的制程機臺監控而設計，使其能將領
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集成電路 IC 控片檢測系統 KLA-Tencor
控片檢測系統介紹
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