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        藍寶石基LED外延片背減薄與拋光工藝研究

        • 1引言目前在藍光LED的制備中,通常采用異質外延的方法生長氮化鎵材料。在商品化的LED中,絕大部分采...
        • 關鍵字: 藍寶石  LED外延片  背減薄  拋光    

        非離子型活性劑在ULSl堿性Cu拋光液中的性能

        • 使用四種非離子表面活性劑分別添加到以SiO2水溶膠為磨料、H202為氧化劑的堿性Cu拋光液中進行拋光實驗。結果表明,所選用的非離子型表面活性劑對材料去除率的影響不大,當烷基酚聚氧乙烯醚在質量分數為0.25%時,拋光表面質量提高,表面粗糙度(Ra)由1.354 nm下降到了0.897 6 nm,同時有效地減輕了Cu拋光表面的劃痕和腐蝕,其原因是聚氧乙烯鏈可以通過醚鍵與水分子形成氫鍵,在聚氧乙烯周圍形成一層溶劑化的水膜保護了被吸附表面。
        • 關鍵字: ULSl  離子  活性劑  拋光    
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