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        掃瞄器 文章 最新資訊

        使用白光干涉儀過程中的疑問

        • 1、問:測量到最小尺寸能否達到12ΜM,或者能夠測到更小尺寸?答:可以,垂直分辨率是0.1nm,XY分辨率依物鏡而有...
        • 關鍵字: 白光干涉儀  分辨率  掃瞄器  
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        掃瞄器介紹

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